Apparatus for organic film formation and method for organic film formation

WO2012053532 Art A1 26. April 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012053532
Aktenzeichen: EP11834371
Anmeldetag: 19. Oktober 2011
Veröffentlichung: 26. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12C23C14/58H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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