Methods of fault detection for multiplexed heater array

WO2012054198 Art A2 26. April 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012054198
Aktenzeichen: EP11834822
Anmeldetag: 28. September 2011
Veröffentlichung: 26. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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