Methods for enhancing tantalum filament life in hot wire chemical vapor deposition processes

WO2012054688 Art A2 26. April 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012054688
Aktenzeichen: EP11835124
Anmeldetag: 20. Oktober 2011
Veröffentlichung: 26. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von