Apparatus for observing edge of subject to be observed and apparatus for inspecting edge of subject to be observed

WO2012056858 Art A1 3. Mai 2012

Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012056858
Aktenzeichen: EP11835998
Anmeldetag: 6. Oktober 2011
Veröffentlichung: 3. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88H01M10/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toray Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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