Fluorinated sulfonic acid salts, photo-acid generator, and resist composition and pattern formation method utilizing same

WO2012056901 Art A1 3. Mai 2012

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012056901
Aktenzeichen: EP11836040
Anmeldetag: 14. Oktober 2011
Veröffentlichung: 3. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C07C309/10C07C381/12C09K3/00G03F7/038G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

1.099 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik Organische Chemie

Vertreten von

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