Plate Heater
WO2012057172
Art A1
3. Mai 2012
Anmelder: Ulvac, Inc., Sukegawa Electric Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012057172
- Aktenzeichen
- EP11836305
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05B3/72H05B3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ulvac, Inc.
Sukegawa Electric Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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