Three-dimensional shape measurement device, three-dimensional shape measurement method, manufacturing method of structure, and structure manufacturing system

WO2012057284 Art A1 3. Mai 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012057284
Aktenzeichen: EP11836417
Anmeldetag: 27. Oktober 2011
Veröffentlichung: 3. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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