A method of treating a multilayer structure

WO2012059350 Art A2 10. Mai 2012

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012059350
Aktenzeichen
EP11773462
Anmeldetag
24. Oktober 2011
Veröffentlichung
10. Mai 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/302H01L21/762H01L21/463H01L21/465
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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