Method for modifying surface of substrate, computer storage medium, and device for modifying surface of substrate

WO2012060217 Art A1 10. Mai 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012060217
Aktenzeichen: EP11837868
Anmeldetag: 18. Oktober 2011
Veröffentlichung: 10. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/58B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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