Apparatus for swinging substrate in longitudinal-direction, substrate stage apparatus, and ion implantation apparatus
WO2012060226
Art A1
10. Mai 2012
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012060226
- Aktenzeichen
- EP11837877
- Anmeldetag
- 20. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/683H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.