Method of forming an array of nanostructures
WO2012061266
Art A2
10. Mai 2012
Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012061266
- Aktenzeichen
- EP11838601
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Board of Trustees of the University of Illinois
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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