Apparatus and methods for deposition of silicon carbide and silicon carbonitride films

WO2012061593 Art A2 10. Mai 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012061593
Aktenzeichen: EP11838807
Anmeldetag: 3. November 2011
Veröffentlichung: 10. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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