Charged particle beam apparatus

WO2012063406 Art A1 18. Mai 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012063406
Aktenzeichen: EP11839317
Anmeldetag: 14. Oktober 2011
Veröffentlichung: 18. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/16G10K11/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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