Method of etching of soi substrate, and back-illuminated photoelectric conversion module on soi substrate and process of manufacture thereof

WO2012063425 Art A1 18. Mai 2012

Anmelder: Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012063425
Aktenzeichen
EP11839769
Anmeldetag
28. Oktober 2011
Veröffentlichung
18. Mai 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306H01L21/308H01L27/12H01L27/146
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tohoku University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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