Method for determining a spring constant for a deformable scanning probe microscope element, and scanning probe microscope and calibration device arranged for determining a spring constant for a probe element

WO2012064193 Art A1 18. Mai 2012

Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012064193
Aktenzeichen
EP11785151
Anmeldetag
11. November 2011
Veröffentlichung
18. Mai 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G01Q40/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technische Universiteit Delft
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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