Probe measuring device

WO2012066756 Art A1 24. Mai 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012066756
Aktenzeichen: EP11841272
Anmeldetag: 10. November 2011
Veröffentlichung: 24. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B5/008G01B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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