Vacuum exhaust device connection structure and vacuum exhaust system

WO2012066781 Art A1 24. Mai 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012066781
Aktenzeichen: EP11841786
Anmeldetag: 16. November 2011
Veröffentlichung: 24. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/16F04C18/18F04C23/00F04C25/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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