Guidance system, detection device, and position assessment device

WO2012066910 Art A1 24. Mai 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012066910
Aktenzeichen: EP11842198
Anmeldetag: 25. Oktober 2011
Veröffentlichung: 24. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G08B27/00B66B3/00B66B5/02G08B25/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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