Electrode film, sputtering target, thin-film transistor, method for manufacturing thin-film transistor

WO2012067030 Art A1 24. Mai 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012067030
Aktenzeichen: EP11841974
Anmeldetag: 11. November 2011
Veröffentlichung: 24. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28C22C27/04C23C14/34H01L21/285H01L21/306H01L21/3205H01L23/52H01L29/423H01L29/49H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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