Film-forming apparatus

WO2012067085 Art A1 24. Mai 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012067085
Aktenzeichen: EP11842160
Anmeldetag: 15. November 2011
Veröffentlichung: 24. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50H01L21/205H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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