Silicon carbide substrate, and method for producing semi-conductor element and silicon carbide substrate

WO2012067105 Art A1 24. Mai 2012

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012067105
Aktenzeichen
EP11840855
Anmeldetag
15. November 2011
Veröffentlichung
24. Mai 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/36H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hoya Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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