Method and arrangement for determining the heating condition of a mirror in an optical system

WO2012069351 Art A1 31. Mai 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012069351
Aktenzeichen: EP11793694
Anmeldetag: 17. November 2011
Veröffentlichung: 31. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/00G01N21/41G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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