Erzeugung von Extremem Uv-Licht
WO2012069898
Art A1
31. Mai 2012
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012069898
- Aktenzeichen
- EP11797341
- Anmeldetag
- 10. November 2011
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
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Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
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3
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