Ion milling device and ion milling processing method

WO2012070517 Art A1 31. Mai 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012070517
Aktenzeichen: EP11843534
Anmeldetag: 21. November 2011
Veröffentlichung: 31. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/305G01N1/28G01N1/36H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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