Radiation-sensitive composition and compound

WO2012070548 Art A1 31. Mai 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012070548
Aktenzeichen: EP11842543
Anmeldetag: 21. November 2011
Veröffentlichung: 31. Mai 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C07C309/27C07C381/12C09K3/00G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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