Film-forming apparatus, and method for cleaning film-forming apparatus
WO2012070560
Art A1
31. Mai 2012
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012070560
- Aktenzeichen
- EP11842831
- Anmeldetag
- 22. November 2011
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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