Dual-Bulb Lamphead Control Methodology

WO2012071130 Art A2 31. Mai 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012071130
Aktenzeichen
EP11843418
Anmeldetag
27. Oktober 2011
Veröffentlichung
31. Mai 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/26H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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