Method for fabricating fine line

WO2012071940 Art A1 7. Juni 2012

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012071940
Aktenzeichen: EP11844889
Anmeldetag: 29. September 2011
Veröffentlichung: 7. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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