Ingot cutting method

WO2012073428 Art A1 7. Juni 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012073428
Aktenzeichen
EP11844463
Anmeldetag
28. Oktober 2011
Veröffentlichung
7. Juni 2012
Rechtsraum
WO
IPC
B28D1/10B24B49/12B28D5/02C30B29/06C30B35/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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