Liquid supply device and resist developing device

WO2012073743 Art A1 7. Juni 2012

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012073743
Aktenzeichen: EP11844026
Anmeldetag: 21. November 2011
Veröffentlichung: 7. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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