Silicon refining device and silicon refining method
WO2012073876
Art A1
7. Juni 2012
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012073876
- Aktenzeichen
- EP11845634
- Anmeldetag
- 28. November 2011
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C01B33/037
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.