Method and apparatus for reducing taper of laser scribes

WO2012074635 Art A1 7. Juni 2012

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012074635
Aktenzeichen: EP11845339
Anmeldetag: 27. Oktober 2011
Veröffentlichung: 7. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/04B23K26/38H01L21/301

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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