Structures and methods for electrically and mechanically linked monolithically integrated transistor and mems/nems devices
WO2012075272
Art A2
7. Juni 2012
Anmelder: Cornell University 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012075272
- Aktenzeichen
- EP11845092
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L25/16B81B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cornell University
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cornell University
Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.
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