Structures and methods for electrically and mechanically linked monolithically integrated transistor and mems/nems devices

WO2012075272 Art A2 7. Juni 2012

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012075272
Aktenzeichen
EP11845092
Anmeldetag
1. Dezember 2011
Veröffentlichung
7. Juni 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L25/16B81B7/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cornell University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cornell University

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