Electrostatic clamp, lithographic apparatus and method of manufacturing an electrostatic clamp

WO2012076207 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012076207
Aktenzeichen: EP11757891
Anmeldetag: 21. September 2011
Veröffentlichung: 14. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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