Novel diazacrown barium and strontium precursors for vapor phase deposition of thin film

WO2012076356 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012076356
Aktenzeichen
EP11790769
Anmeldetag
28. November 2011
Veröffentlichung
14. Juni 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C07F3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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