Power supply device

WO2012077296 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012077296
Aktenzeichen: EP11846695
Anmeldetag: 29. November 2011
Veröffentlichung: 14. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B25J19/00H01L21/677H02J17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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