Defect inspecting apparatus

WO2012077497 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012077497
Aktenzeichen
EP11847351
Anmeldetag
24. November 2011
Veröffentlichung
14. Juni 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G01N23/225
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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