Chemical mechanical polishing pad and chemical mechanical polishing method using same

WO2012077592 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012077592
Aktenzeichen: EP11847699
Anmeldetag: 2. Dezember 2011
Veröffentlichung: 14. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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