Display device manufacturing apparatus, display device manufacturing method, and display device

WO2012077659 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012077659
Aktenzeichen: EP11846561
Anmeldetag: 6. Dezember 2011
Veröffentlichung: 14. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H05B33/10G09F9/30H01L27/32H01L51/50H05B33/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von