Plasma Generator

WO2012077843 Art A1 14. Juni 2012

Anmelder: Korea Advanced Institute Of Science And Technology, Jusung Engineering Co. Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012077843
Aktenzeichen: EP10860505
Anmeldetag: 9. Dezember 2010
Veröffentlichung: 14. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H05H1/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Korea Advanced Institute Of Science And Technology
Jusung Engineering Co. Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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