Verfahren zur Maskeninspektion sowie Maskeninspektionsanlage

WO2012079723 Art A1 21. Juni 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012079723
Aktenzeichen: EP11799632
Anmeldetag: 8. Dezember 2011
Veröffentlichung: 21. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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