Method for forming stair-step structures

WO2012082336 Art A1 21. Juni 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012082336
Aktenzeichen: EP11847904
Anmeldetag: 22. November 2011
Veröffentlichung: 21. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/08G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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