Method and apparatus for performing an operation aimed at a part of an electronic structure

WO2012085347 Art A1 28. Juni 2012

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012085347
Aktenzeichen
EP11850210
Anmeldetag
20. Dezember 2011
Veröffentlichung
28. Juni 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67H05K13/00H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Teknologian tutkimuskeskus VTT
Land
🇫🇮 Finnland
🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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