Mask blank and method of producing the same, and transfer mask and method of producing the same

WO2012086744 Art A1 28. Juni 2012

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012086744
Aktenzeichen: EP11850123
Anmeldetag: 22. Dezember 2011
Veröffentlichung: 28. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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