Evacuation device, vacuum processing device, and evacuation method

WO2012086767 Art A1 28. Juni 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012086767
Aktenzeichen: EP11850984
Anmeldetag: 22. Dezember 2011
Veröffentlichung: 28. Juni 2012
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/16H01L21/205H01L21/3065C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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