Energy beam processing device and energy beam processing method

WO2012090321 Art A1 5. Juli 2012

Anmelder: Fujitsu Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012090321
Aktenzeichen: EP10861417
Anmeldetag: 28. Dezember 2010
Veröffentlichung: 5. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/302H01L21/66H01L21/82

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujitsu Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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