Wafer washing method

WO2012090779 Art A1 5. Juli 2012

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012090779
Aktenzeichen
EP11854008
Anmeldetag
20. Dezember 2011
Veröffentlichung
5. Juli 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Central Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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