Vacuum valve with protected sealing surface

WO2012091830 Art A1 5. Juli 2012

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012091830
Aktenzeichen: EP11794321
Anmeldetag: 28. November 2011
Veröffentlichung: 5. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: F16K3/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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