Flow rate measurement device and flow rate measurement method of flow rate controller for gas feeder

WO2012093436 Art A1 12. Juli 2012

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012093436
Aktenzeichen: EP11854703
Anmeldetag: 28. November 2011
Veröffentlichung: 12. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/00G01F15/02G01F25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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