Device for depositing molecular resist composed of low-molecular-weight compound

WO2012093683 Art A1 12. Juli 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012093683
Aktenzeichen: EP12732191
Anmeldetag: 5. Januar 2012
Veröffentlichung: 12. Juli 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B05C9/08B05C13/00G03F7/11G03F7/16H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von